電磁輻射分為電離輻射和非電離輻射。電磁輻射包括電力、無線電波、微波、太赫茲輻射、紅外輻射、可見光、紫外輻射X射線和γ按照頻率越來越高的順序排列射線。其中紫外線、X射線、γ由于能級高，射線可以對人體細胞產生電離作用，也稱為高能射線，也稱為電離輻射。電離輻射也以波的形式傳播。X射線和γ與其能力強于其他類型的輻射，稱為電離輻射。
利用x射線熒光光譜儀進行定量分析的時候，大致可以分為3個方法。
1、是制作測量線的方法（經驗系數法）。這個方法是測定幾點實際的已知濃度樣品，尋求想測定元素的X熒光光譜儀X射線強度和濃度之間的關系，以其結果為基礎測定未知樣品的X熒光光譜儀X射線，從而得到濃度值。
2、是理論演算的基礎參數法（FP法）。這個方法在了解樣品的構成和元素種類前提，利用計算的各個X熒光光譜儀X射線強度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的X熒光光譜儀X射線強度的組成一致。
3、參數計算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線熒光強度的。基于此再計算Lachance綜合校正系數，然后使用這些理論α系數去校正元素間的吸收增應。它與經驗系數法不同，這些校正系數是從“理論”上的，而非建立在“經驗”上。因而它也不需要那么多的標樣，只要少數標樣來校準儀器因子。
1、分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
5、分析精密度高。
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
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