X衍射儀，即X射線衍射儀（XRD），是一種利用X射線衍射原理測定物質結構的精密分析儀器，廣泛應用于材料科學、化學、生物學等多個領域。其通過將X射線束照射到樣品上，X射線與樣品中的原子相互作用，產生衍射現象。由于晶體中原子規則排列，原子間距與X射線波長相當，不同原子散射的X射線相互干涉，在特定方向上產生強衍射。衍射波疊加使射線強度在某些方向加強，其他方向減弱，形成衍射圖譜。通過分析衍射峰的位置、強度和形狀，可推斷樣品的晶體結構、相組成、晶體取向等信息。

　　X衍射儀的主要結構特點：

　　1、X射線發生系統

　　X射線管

　　結構：真空二極管結構，陰極（鎢絲）發射電子，陽極（靶材）受電子轟擊產生X射線。

　　靶材選擇：常見靶材包括Cu、Mo、Co等，不同靶材對應不同特征波長（如Cu靶的Kα波長為1.54184Å）。

　　冷卻系統：陽極靶需循環水冷卻，防止高溫損壞。

　　高壓電源

　　功能：提供高電壓（通常20~60kV）加速電子，并穩定管電流（10~100mA）。

　　穩定性要求：電源波動需小于0.01%，以確保X射線強度和波長的穩定性。

　　2、測角儀系統

　　測角儀是XRD的核心部件，負責精確測量衍射角（2θ）：

　　結構組成

　　樣品臺：可旋轉或固定，支持粉末、塊狀或薄膜樣品的精準定位。

　　狹縫系統：包括發散狹縫、防散射狹縫和接收狹縫，控制X射線束的寬度和平行性，減少雜散光干擾。

　　角度驅動機構：步進電機或精密機械結構，實現2θ角的高精度掃描（精度達0.001°~0.01°）。

　　光學對中技術：采用激光或熒光屏校準，確保X射線源、樣品臺和探測器處于同一衍射平面，避免角度誤差。

　　3、探測與數據采集系統

　　探測器

　　類型：

　　氣體計數器：通過X射線電離氣體產生電信號，適用于低強度輻射。

　　閃爍計數器：利用閃爍晶體（如NaI）將X射線轉化為光信號，再由光電倍增管放大，響應速度快。

　　半導體探測器（如硅PIN二極管）：高靈敏度、高分辨率，適合弱信號檢測。

　　功能：將衍射X射線轉換為電信號，并傳輸至數據處理系統。

　　單色器

　　作用：濾除Kβ等雜波，提高衍射峰的信噪比。常用石墨晶體單色器，可安裝在入射光路或衍射光路中。

　　4、數據處理與控制系統

　　計算機控制系統

　　功能：設置實驗參數（如掃描范圍、步長、時間），自動采集衍射數據，并實時顯示衍射圖譜。

　　軟件分析：通過專用軟件（如Jade、MDI）進行尋峰、擬合、物相鑒定（PDF卡片庫對比）及晶粒尺寸計算（謝樂公式）。

　　自動化與智能化

　　自動校準：部分機型配備自動對中和波長校準功能，減少人為誤差。

　　多模式檢測：支持連續掃描、步進掃描、定點測量等模式，適應不同樣品需求。

　　5、結構設計特點

　　高穩定性

　　機械結構：采用一體化鑄造框架或抗震設計，減少環境振動對角度測量的影響。

　　溫度控制：部分高機型配備恒溫系統，防止溫度波動導致樣品或光路變形。

　　模塊化與擴展性

　　樣品腔：可更換式設計，支持高溫、低溫、原位反應等特殊測試需求。

　　多靶材兼容：通過更換X射線管靶材，適應不同波長需求（如Cu靶測有機物，Mo靶測金屬）。

　　安全防護

　　輻射屏蔽：鉛罩或防護門防止X射線泄漏，保障操作安全。

　　緊急停止按鈕：快速切斷X射線源，避免意外暴露。

　　6、應用場景與結構適配

　　物相分析：通過衍射峰位置（2θ）和強度鑒定晶體種類，依賴高分辨率探測器和窄縫設計。

　　晶粒尺寸測定：利用衍射峰寬化效應（謝樂公式），要求探測器高靈敏度和小角度穩定性。

　　殘余應力分析：基于晶面間距變化（d值），需搭配高精度測角儀和原位加載裝置。