X射線熒光光譜儀是用來測定物質(zhì)中元素的種類和含量的儀器，大家都知道物質(zhì)是由元素構(gòu)成的，每一種元素的原子能級(jí)結(jié)構(gòu)是特定的，躍遷時(shí)產(chǎn)生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差）。因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應(yīng)元素，而特征X射線的強(qiáng)弱則代表該元素的含量。
X射線熒光光譜儀用于固體、粉末或液體物質(zhì)的元素分析。工作的基本原理是X射線管發(fā)出的初級(jí)X射線激光試樣中的原子，產(chǎn)生的熒光X射線通過晶體分光并用探測器測量，根據(jù)各種元素特征X熒光譜線的波長和強(qiáng)度進(jìn)行元素的定性和定量分析。下面我們?yōu)槟榻B下儀器常見的幾大故障原因和處理i辦法。
1、故障現(xiàn)象：X光管頻繁自動(dòng)關(guān)掉
分析：發(fā)現(xiàn)X光管發(fā)生器溫度較高
處理：清理或更換X光管發(fā)生器排風(fēng)扇
2、故障現(xiàn)象：熒光不自檢，不聯(lián)機(jī)、不復(fù)位；多次重新啟動(dòng)還是一樣
處理：卸真空后，重新啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，熒光自檢、聯(lián)機(jī)、復(fù)位正常，但在抽真空時(shí)，不能抽，出現(xiàn)大于25Ka時(shí)間太長，經(jīng)查發(fā)現(xiàn)油泵和樣品室之間的過濾網(wǎng)堵塞嚴(yán)重，經(jīng)更換后正常。
原因：油泵和樣品空之間的過濾網(wǎng)堵塞
3、故障現(xiàn)象：熒光不能聯(lián)機(jī)
處理：關(guān)光管、關(guān)機(jī)，重新啟動(dòng)，不聯(lián)機(jī)，把“ICS”內(nèi)容剽掉后正常
4、障現(xiàn)象：熒光進(jìn)樣時(shí)間長，甚至不分析
處理：檢查黃銅蓋更換o形環(huán)，還是漏氣，卸直空，揭人蓋，清小車，更換進(jìn)樣軸封
原因：進(jìn)樣軸封漏氣
5、故障現(xiàn)象：熒光樣品盒進(jìn)去，不出來
處理：關(guān)光管、關(guān)機(jī)，重新啟動(dòng)，不進(jìn)行初始化
原因：經(jīng)檢查盒蓋未蓋上，只放在上面，導(dǎo)致盒超出范圍，進(jìn)去后出不來，又不能進(jìn)行初始化
6、故障現(xiàn)象：熒光分子泵停真空度高
處理：卸真空，揭大蓋、清小車上下密封環(huán)，正常
原因：熒光光譜室內(nèi)漏氣所致
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