X射線熒光光譜儀應用于水泥、鋼鐵、建材、石化、有色、硅酸鹽、煤炭、高嶺土、耐火材料、科研、環保等行業，是一種中型、經濟、高性能的光譜儀。采用固定通道，減少測量時間；固定通道尤其適用于熒光產額較低的輕元素和微量元素的測定，以提高分析精度和靈敏度。X熒光光譜儀采用操作方便，用戶習慣的智能化軟件，提供全自動分析操作，實現快速定性、定量分析和半定量分析。
X射線熒光光譜儀一般有三點分析模式：
·點分析
將電子探針固定在試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法用于顯微結構的成份分析，例如對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學計量材料的組成等分析。
·線分析
電子束沿一條分析線進行掃描(或試樣掃描)時，能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區域內的分布。沿感興趣的線逐點測量成分，也可以劃出該線的成分變化曲線。
·面分析
將電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來（定性分析)，亮度越亮，說明元素含量越高。研究材料中雜質、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。
X射線熒光光譜儀的點、線、面分析方法用途不同，檢測靈敏度也不同，定點分析靈敏度zui高，面掃描分析靈敏度zui低。
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