工業(yè)衍射儀是材料科學(xué)、工業(yè)生產(chǎn)及質(zhì)量控制領(lǐng)域不可少的精密分析儀器，其核心功能是通過(guò)X射線與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的衍射現(xiàn)象，解析材料的晶體結(jié)構(gòu)、物相組成及微觀缺陷信息。該技術(shù)基于布拉格定律（2d sinθ=nλ），當(dāng)單色X射線以特定角度θ照射晶體時(shí)，若滿足晶面間距d與波長(zhǎng)λ的幾何關(guān)系，則會(huì)在特定方向產(chǎn)生衍射增強(qiáng)信號(hào)，形成特征衍射圖譜。

　　工業(yè)衍射儀的安裝指南：

　　一、安裝前準(zhǔn)備

　　1.場(chǎng)地選址要求

　　空間：

　　預(yù)留足夠操作與維護(hù)空間（通常主機(jī)尺寸約800×600×1200 mm，還需前后左右各≥50 cm操作距離）；

　　門寬應(yīng)能通過(guò)儀器（部分工業(yè)機(jī)型帶防震底座，體積較大）。

　　地面：

　　堅(jiān)固、水平、無(wú)振動(dòng)（遠(yuǎn)離大型沖壓機(jī)、空壓機(jī)、電梯井等振源）；

　　建議安裝在底層或地下室，必要時(shí)加裝防震平臺(tái)。

　　環(huán)境條件：

　　溫度：15–30℃（波動(dòng)≤±2℃/h）；

　　濕度：30–70%RH（無(wú)冷凝）；

　　無(wú)腐蝕性氣體、粉塵、強(qiáng)電磁干擾（如變頻器、大功率電機(jī)附近）。

　　2.電力與接地

　　電源：

　　通常要求AC 220V±5%，50/60 Hz，獨(dú)立專線；

　　功率：3–5 kW（含X光管高壓發(fā)生器、冷卻系統(tǒng)等）；

　　配備UPS或穩(wěn)壓電源（防止電壓波動(dòng)損壞高壓發(fā)生器）。

　　接地：

　　專用接地線，接地電阻<4Ω；

　　接地端子必須連接至建筑物主接地極，禁止與水管、暖氣管共用。

　　3.輻射防護(hù)準(zhǔn)備

　　XRD屬于Ⅲ類射線裝置（中國(guó)分類），需符合《放射性同位素與射線裝置安全和防護(hù)條例》；

　　安裝區(qū)域應(yīng)設(shè)置：

　　電離輻射警告標(biāo)志；

　　聯(lián)鎖門禁或警示燈（開(kāi)機(jī)時(shí)自動(dòng)亮起）；

　　確保鉛玻璃觀察窗或屏蔽罩完好（工業(yè)機(jī)型通常為全封閉式，泄漏劑量<1μSv/h）。

　　二、主機(jī)安裝步驟

　　1.開(kāi)箱與搬運(yùn)

　　使用叉車或液壓搬運(yùn)車，嚴(yán)禁傾斜超過(guò)15°（防止X光管油芯移位）；

　　拆除運(yùn)輸固定螺栓（通常位于測(cè)角儀底座），否則影響精度。

　　2.水平調(diào)校

　　將儀器置于預(yù)定位置；

　　使用高精度電子水平儀（精度0.02 mm/m）放置于測(cè)角儀平臺(tái)；

　　調(diào)節(jié)底部調(diào)平腳螺絲，使X/Y方向均水平（誤差≤0.05°）。

　　3.連接外圍設(shè)備

　　冷卻系統(tǒng)（若為水冷X光管）：

　　連接去離子水循環(huán)冷卻機(jī)（電阻率>1 MΩ·cm）；

　　檢查水壓（通常0.1–0.2 MPa）和流量（≥1 L/min）。

　　計(jì)算機(jī)與通信線：

　　連接控制電腦（USB/Ethernet）；

　　安裝廠商專用控制軟件（如PANalytical HighScore、Bruker DIFFRAC.SUITE等）。

　　4.樣品臺(tái)安裝

　　根據(jù)測(cè)試需求安裝樣品架（如零背景硅片holder、旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、高溫附件等）；

　　確保樣品臺(tái)與測(cè)角儀中心對(duì)齊。

　　三、安全與功能檢查

　　1.輻射泄漏測(cè)試（必須由有資質(zhì)單位執(zhí)行）

　　使用劑量?jī)x檢測(cè)儀器表面5 cm處輻射劑量率；

　　國(guó)標(biāo)要求：≤2.5μGy/h（中國(guó)）或0.5 mR/h（美國(guó)）。

　　2.開(kāi)機(jī)自檢

　　啟動(dòng)高壓發(fā)生器，檢查X光管是否正常出束；

　　測(cè)角儀執(zhí)行初始化歸零（home position）；

　　光閘、快門、聯(lián)鎖開(kāi)關(guān)功能測(cè)試。

　　3.標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)

　　使用標(biāo)準(zhǔn)硅粉（NIST SRM 640e）進(jìn)行2θ角度校準(zhǔn)；

　　驗(yàn)證峰位偏差應(yīng)<±0.01°。